精密技術(shù)相對(duì)于精密加工，一般精密加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為0.1~0.025μm;超精密加工精度可在0.1μm以內(nèi)，表面粗糙度可在0.025μm以內(nèi)。隨著技術(shù)的發(fā)展，超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)。

　　精密加工技術(shù)可分為超精密車削技術(shù)、超精密銑削技術(shù)、超精密磨削技術(shù)、表面鏡面拋光技術(shù)和超精密特種加工技術(shù)，以及現(xiàn)階段相應(yīng)的加工方法的精度范圍。

　　當(dāng)某些典型部件進(jìn)行超精密加工時(shí)，有時(shí)會(huì)單獨(dú)提出該部件的名稱。作為這類部件超精密加工的一類技術(shù)總稱，如大型光學(xué)非球形部件超精密加工技術(shù)，涵蓋了超精密加工技術(shù)領(lǐng)域的許多技術(shù)技術(shù)。

　　從20世紀(jì)50年代到80年代，超精密加工主要用于航空航天、天文學(xué)等領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)球面的制造。在此期間，美國(guó)率先開展了以單點(diǎn)金剛石切割為代表的超精密加工技術(shù)。

　　此外，設(shè)備精度逐漸接近納米水平。加工工件的范圍越來越廣。隨著數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，超精密五軸銑削和飛行切割技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)稱非球面等復(fù)雜零件的制造。

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